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FS-1マルチスペクトルエリプソメーターのご紹介 (応用編) ~最新測定事例のご紹介と実機操作~(6月2(水)10:00~11:00)
本セミナーでは、近年飛躍的に発達したエリプソメトリーの中でも「高精度な測定」を「簡便な操作」でかつ「低コスト」を実現させたFS-1マルチスペクトルエリプソメーターとその最新の使用事例をご紹介致します。

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☆130年前に考案されたエリプソメトリー技術は、非破壊・非接触でサブモノレイヤーから数μmの薄膜の膜厚や光学定数を高精度に計測可能です。

☆FS-1を通してエリプソメーターでin situやex situ測定、マッピング測定を行った使用事例をご紹介します。

☆昨年リリースとなった赤外領域もしくは紫外領域のスペクトルを追加した新製品FS-1EX、FS-1UVについて紹介いたします。

☆実際に装置を使用した薄膜測定も実施致します。
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★ご参加いただきたいお客様★
・薄膜作成や評価を行われている方
・これからエリプソメーターを使い始める方
・真空蒸着装置内での解析を行われる方
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Jun 2, 2021 10:00 AM in Osaka, Sapporo, Tokyo

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